TY -非盟的川端康成,k . AU - Muto t . PY - 1981 DA - 1900/01/01 TI -电气性能反应溅射沉积氮化钛薄膜的SP - 694307六世AB - 8 - SN - 0882 - 7516你——https://doi.org/10.1155/APEC.8.249——10.1155 / APEC.8.249 JF - ElectroComponent科技PB Hindawi出版公司KW - ER