TY -的A2 -戴,梁京盟- Chang Wen-Teng PY - 2011 DA - 2011/10/13 TI -静态和动态引线电容弯曲Microresonator SP - 546986六世- 2011 AB -本文评价的静态和动态引线电容硅carbide-based flexural-mode微机电系统谐振器。静态引线电容是由一个网络分析仪测量大气压力下。动引线是通过将各种价值观引入建模电路为了适合减压下的波德图测量。静态引线电容是0.02 pF,而相同的动态引线电容设备是关于0.2 pF,这是一个数量级大于静态引线电容。SN - 0882 - 7516你2011/546986 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2011/546986——摩根富林明,主动和被动电子元器件PB - Hindawi出版公司KW - ER