ty -jour a2 -marletta，vincenzo au -wang，xin au-太阳，衬里au -shi，yunbo py -2020 da -2020/11/18 ti-关于微型多磁盘水质水质传感器芯片和温度的微型多培训的研究补偿功能SP -8897916 VL -2020 AB-本文提出了带有温度补偿的多参数水质传感器芯片。传感器芯片是使用微机电系统（MEMS）技术制造的。芯片整合pH，溶解氧（DO），氨氮和温度传感器的表面。为了补偿溶液温度，还使用三明治，板型蛇形PT电阻加热器设计了芯片。实验结果表明，pH传感器具有良好线性的高灵敏度为0.288 mA/pH（ r 2 = 0.9998 ），温度传感器的灵敏度为0.949  ω/°C，氮传感器的灵敏度为0.1139 mA/ppm，溶解氧（DO）传感器的灵敏度为2.22  μA/PPM，温度相对于加热器功率的敏感性为0.3126°C/mW。与单个水质参数传感器相比，准备好的传感器芯片可以同时检测到水样的多个参数，并且具有良好的温度补偿效果。此外，传感器芯片的尺寸很小，坚固且高度准确。SN -1687-725X UR -https：//doi.org/10.1155/2020/8897916 do -10.1155/2020/8897916 JF-传感器杂志PB- Hindawi KW- hindawi kw--er- er--er- er- er-