TY -的A2 Yoshimura正盟——刘陆盟——徐,建国盟——张,瑞盟——吴,森盟——胡爱盟——胡答PY - 2018 DA - 2018/07/19 TI -三维原子力显微镜对井壁成像使用扭转共振模式SP - 7606037六世- 2018 AB -本文介绍了原子力显微镜(AFM)技术,真正的三维(3 d)表征。在自制的三维原子力显微镜(afm)系统中采用了悬臂式扩尖探头。悬臂梁由两个压电陶瓷驱动，绕其垂直或扭转谐振频率振荡。上表面成像采用垂直共振模式，侧壁检测采用扭转共振模式。采用3D-AFM技术测量高度分别为100nm和200nm的标准光栅。实验结果表明，本文提出的3D- afm技术能够检测出陡壁上的小缺陷特征，并重建被测结构的三维形貌。SN - 0161-0457 UR - https://doi.org/10.1155/2018/7606037 DO - 10.1155/2018/7606037 JF -扫描PB - Hindawi KW - ER -